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Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Processi successivi/Impiantazione ionica print that page

Sorgente_ionica

semiconduttore drogato possono oggi essere cresciuti anche tramite tecniche quali l’epitassia da fascio molecolare (MBE, Molecular Beam Epitaxy) e l’epitassia da fase vapore (CVD, Chemical Vapor Deposition) con le quali è possibile ottenere un elevatissimo controllo degli spessori, ma

Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Tecniche litografiche/Litografia a fascio ionico print that page

La litografia a fascio ionico è simile alla litografia elettronica, ma utilizza ioni invece che elettroni. Un grande vantaggio presentato dalla tecnica IPL ( ions photolitography ) rispetto alla litografia a fascio di elettroni, è dovuto al fatto che gli ioni presentano massa maggiore

wikibooks.org | 2015/7/9 16:19:23

Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Tecniche diagnostiche/Interazione con fasci di elettroni/SEM print that page

First_Scanning_Electron_Microscope_with_high_resolution_from_Manfred_von_Ardenne_1937

microscopio elettronico che produce immagini di un campione facendo la scansione su di esso di un fascio di elettroni focalizzati. Gli elettroni interagiscono con gli atomi nel campione, producendo vari segnali che possono essere misurati e che contengono informazioni sulla topografia della