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Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili print that page

Si definiscono Film sottili strati di materiali spessi tra frazioni di nanometri (monostrati) a pochi micron di spessore. Tra le applicazioni principali da un punto di vista tecnologico vi sono i Dispositivi elettronici e la ricopertura di sistemi ottici, anche se lo studio e l'uso dei

wikibooks.org | 2015/7/9 16:18:37

Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili/Sputtering print that page

Magnetrongun

obliquo della superficie. La deposizione mediante sputtering è una tecnica di deposizione fisica di film sottili (nel testo si useranno degli inglesismi quali film sputterati o sputterare non esistendo parole italiane che ne siano una fedele traduzione). La tecnica consiste nel rimuovere

Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili/Chemical Vapor Deposition (CVD) print that page

Fase_I_del_processo_CVD

su di esso; spesso si producono altri composti che verranno estratti dalla camera di reazione. I film prodotti sono depositati in maniera conforme, quindi la tecnica è particolarmente utile quando si vogliono isolare mediante dielettrici strati superfici metalliche su strati differenti con

Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Introduzione alla microtecnologia/Concetti di base print that page

Gli obiettivi della micro (e nano) fabbricazione sono quelli di miniaturizzare le dimensioni di circuiti e dispositivi elettronici, compattare le varie funzioni e realizzare in modo semplice e poco costoso molte repliche identiche. Gli ingredienti a disposizione sono: per i materiali, si

wikibooks.org | 2015/7/9 16:19:04

Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Etching/Dry Etching print that page

contribuiscono alla formazione degli ioni e delle molecole reattive, entrambi essenziali per l'erosione del film di materiale su cui si vogliono creare le geometrie dei dispositivi elettronici. Quando si parla di specie chimiche reattive, non ci si riferisce soltanto alle molecole che possono

wikibooks.org | 2015/7/9 16:18:29

Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili/Evaporazione print that page

La tecnica di deposizione fisica da fase vapore (detta Physical Vapor Deposition ) di film sottili mediante evaporazione termica è una dei processi più antichi di deposizione. Il materiale viene riscaldato sotto vuoto e o sublima o evapora . Da semplici considerazioni termodinamiche segue

wikibooks.org | 2015/7/9 16:18:42

Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili/Film metallici print that page

CircuitoRC

Alcuni metalli comunemente usati nei processi di fabbricazione per CMOS e altri dispositivi elettronici: Tungsteno (W) : diminuisce la resistività delle linee di gate (word line) Nitruro di Tungteno (WN): evita che il W deposto contamini i dielettrici sottostanti. Titanio (Ti): favorisce

Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili/Molecular Beam Epitaxy (MBE) print that page

di estrema purezza e perfetta qualità cristallina, indispensabili per applicazioni avanzate in micro e optoelettronica. L'impiego di tale metodologia dedicata al silicio è particolarmente competitiva per: la realizzazione di strati di silicio drogato (cioè contenente impurezze volute

wikibooks.org | 2015/7/9 16:18:45

Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili/Deposizione di film dielettrici print that page

Forno_a_pareti_riscaldate

I processi di deposizione di film dielettrici più comuni sono i seguenti: deposizione di biossido di silicio deposizione di nitruro di silicio deposizione di polisilicio amorfo o cristallino I processi di deposizione di film sottili vengono effettuati a Diffusione in apparati molto

Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Film sottili/Deposizione con cannone elettronico print that page

riescono a raggiungere maggiori velocità di crescita che con l'evaporazione termica, inoltre i film sono meno contaminati che nel caso della evaporazione termica. Infatti il materiale da evaporare fonde localmente e i crogioli si mantengono ad una temperatura relativamente bassa. Elettroni

wikibooks.org | 2018/3/17 11:38:17