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Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Tecniche litografiche/Litografia elettronica print that page

Variable_shaped_beam

utilizza un pennello di elettroni per disegnare una superficie coperta con un resist. Il resist elettronico ha proprietà simili ai resist ottici, in quanto le zone esposte agli elettroni o vengono dissolte dallo sviluppo (resist positivo) o risultano insolubili nello sviluppo (resist negativo

Chimica industriale/Depurazione delle acque print that page

capacità utile. Si provvede all’eliminazione delle “sabbie” (si intendono come tali anche quelle particelle e corpi che hanno caratteristiche di peso specifico ed idrodinamiche analoghe: pezzetti di vetro e metallo, chicchi di caffè, ceneri, noccioli di frutta, terra, ...) con appositi

wikibooks.org | 2015/7/9 13:30:52

Micro e nanotecnologia/Microtecnologia/Introduzione alla microtecnologia/L'ambiente: la camera pulita print that page

Operator_at_microscope

riproducibili, ma la caratteristica più importante è il controllo sul numero e sulla dimensione delle particelle di polvere presenti nell'atmosfera, da cui viene appunto il nome "camera pulita". oggetto dimensioni approssimative granelli di sabbia 2 mm ÷ 60 μm diametro capelli